硅烷

SiH4

六氟化钨

WF6

一氧化二氮

N2O

氦气

He

三氯氢硅

TCS

氨气

NH3

氯气

Cl2

磷烷/氢气

PH3/H2

氘气

D2

三氟化氮

NF3

氯化氢

HCl

二氯二氢硅 DCS

四氟化碳

CF4

一氟甲烷

CH3F

二氟甲烷

CH2F2

三氟甲烷

CHF3

五氟乙烷

C2HF5

六氟丁二烯

C4F6

八氟环丁烷

C4F8

八氟环戊烷

C5F8

六氟化硫

SF6

四氟化硅

SiF4

四氯化硅

SiCl4

溴化氢

HBr

三氯化硼

BCl3

四氟化锗

GeH4

一氧化氮

NO

二氧化硫

SO2

一氧化碳

CO

二氧化碳

CO2

乙炔

C2H2

乙烯

C2H4

丙烯

C3H6

氪气

Kr

氙气

Xe

氖气

Ne

羟基硫

COS

氮气

N2

氩气

Ar

硅烷/氮气

SiH4/N2

磷烷/氮气

PH3/N2

乙硼烷/氮气

B2H6/N2

氪气/氖气

Kr/Ne

氟气/氪气/氖气

F2/Kr/Ne

氩气/氙气/氖气

Ar/Xe/Ne

氟气/氩气/氖气

F2/Ar/Ne

氧气/氦气

O2/He

氢气/氮气

H2/N2

甲基三氯硅烷

MTS